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产品信息
MT-300微分干涉LCD检查工具显微镜
性能特点
■ 创新图像处理技术，获得更精细的动态图像，测量数据直接发送至Aout CAD中，测量数据及时传输到Word/Excel，以便实时分析，强大的元素测量功能。
■ 全新的光路设计无限远校正光学系统，光效率更高，采用长寿命LED光源，提供出色的图像质量。
技术参数
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配 置
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MT-200
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MT-300
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MT-400
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测量范围(mm)
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X
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200
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300
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400
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Y
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100
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200
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300
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Z
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150
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150
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150
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工作台
(mm) |
铝合金台面
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350*250
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500*350
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600*500
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玻璃台面
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250*150
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350*250
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450*350
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承 重
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15Kg
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影像及
测量系统 |
CCD
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美国TEO 1/2"高分辨率彩色相机
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光学系统
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无限远色差校正光学系统
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三目观察筒
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三目观察筒（分光比50：50），1XCTV接口
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目镜
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PL10X/22平场高眼点目镜（其中1只十字）
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物 镜
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5X物镜（明场无限远，DIC）， 5X/0.13 WD10.8mm
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10X物镜（明场无限远，DIC），10X/0.25 WD10.0mm
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20X物镜（明场无限远，DIC），20X/0.40 WD4.0mm
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50X物镜（明场无限远）， 50X/0.55 WD7.9mm
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显示分辨率
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0.001mm
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测量精度
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X/Y轴
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（3+L/200）um
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Z轴(选配)
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（5+L/200）um
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重 复 性
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2um
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调焦系统
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手 动
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Z轴行程150mm，粗微同轴，调节精度2um
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照明系统
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反射：柯勒照明系统，24V/150W光钎冷光源
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透射：5W白色LED，
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微分干涉装置
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DIC微分干涉组件（反射光用），含直偏、检偏器
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台式电脑
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2G/500G/DVD/键鼠/+19液晶显示器
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测量软件
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二维几何量测量功能主要包括：两点间距离、点到直线的距离、角度、圆心距；十字线显示，
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校正片
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0.01mm
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电 源
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90～240V电压，50HZ
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仪器重量
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320Kg、
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可供附件
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0.5X CTV接口
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100X物镜（明场无限远）， 100X/0.80 WD2.1mm选配
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